硅微通道芯片

產品簡介：

硅微通道芯片，是半導體材質芯片，和傳統(tǒng)的IC工藝能很好的兼容，有利于多功能芯片的集成，尤其是硅基芯片可以很好的引入電學控制單元。目前，我公司是通過濕法腐蝕（酸/堿）得到的特異性芯片截面結構，其中酸法腐蝕得到的芯片結構為U型，堿法腐蝕得到的芯片結構為V型。同時，我們?yōu)榭蛻籼峁┎煌男酒喼品眨詽M足不同的客戶要求。

優(yōu)點：

1. 通道表面結構良好；

2. 易于集成；

3. 半導體硅基材質。

加工規(guī)格：

1. 酸/堿法腐蝕硅片寬深比接近2:1；

2. 通道表面粗糙度約為Ra=2um。